精密機械、半導體設備廠要的廠房:無塵、防微振、地坪平整度怎麼驗收
精密機械、半導體設備廠找廠房,重點不在坪數便宜,而在防微振、地坪平整度、無塵室預留三項驗收。微振動指 2~100Hz、振幅 50μm/s 以下,半導體量測機台常要求 VC-C 以上;地坪平整度看 3m/3mm 直規或 ASTM F 數值;無塵室半導體常用 ISO 3~5。沒先驗收就簽約,機台進場才發現精度跑掉,整補成本與停工時間是真正的隱性代價。
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